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J-GLOBAL ID：201002043880008114   Reference number：80A0076179

Laser enhanced electroplating and maskless pattern generation.

レーザ増強電気めっきおよびマスク無しパターン形成

Author (4)： Von GUTFELD R J (IBM Thomas J. Watson Research Center, New York) ,  TYNAN E E (IBM Thomas J. Watson Research Center, New York) ,  MELCHER R L (IBM Thomas J. Watson Research Center, New York) ,  BLUM S E (IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
Material： Appl Phys Lett  (Applied Physics Letters)
Volume： 35  Issue： 9  Page： 651-653  Publication year： 1979 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： 電気めっき ,...

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Terms in the title (5)： レーザ ,  増強 ,  電気めっき ,  マスク ,  パターン形成