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J-GLOBAL ID：201002206340911059   Reference number：10A0467048

Electrical and Mechanical Characteristics of Co-Doped and Ni-Doped Carbon Thin Films

CoドープおよびNiドープ炭素薄膜の電気および機械特性の評価

Author (3)： YABE Mitsunori (NIHON AUTOMOBILE COLL., Chiba) ,  UMEMURA Shigeru (Chiba Inst. of Technol., Chiba) ,  HIRONO Shigeru (MES AFTY Corp., Tokyo)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 61  Issue： 5  Page： 379-383  Publication year： May. 01, 2010 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon ,  *thin film ,  *cobalt compound ,  nickel compound ,  *doping ,  *electrical resistivity ,  *scratch hardness ,  chemical bond ,  micro structure ,  dopant ,  chemical composition ,  abrasion resistance
Semi thesaurus term： *carbon film

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (9)：

• 1) A. Grill ; Wear, 168, 143 (1993).
• 2) K. Schiffmann ; Wear, 216, 27 (1998).
• 3) T. Hayashi, S. Hirono, M. Tomita, and S. Umemura ; Nature, 381, 772 (1996).
• 4) T. You, O. Niwa, Z. Chen, K. Hayashi, M. Tomita, and S. Hirono ; Anal. Chem., 75, 5191 (2003).
• 5) S. Umemura, S. Misu-Matsuhashi, and S. Hirono ; IEICE Trans. on Electronics, E90-C, 1435 (2007).

Terms in the title (6)： CO ,  ドープ ,  Ni ,  炭素薄膜 ,  機械特性 ,  評価