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J-GLOBAL ID：201002209705696399   Reference number：10A1103668

高密度パターンドメディアのための電子線描画ポスト格子とガイドラインによる自己組織化パターンの規則配列制御

Author (8)： AKAHANE TAKASHI (群馬大 大学院工学研究科) ,  HUDA Mifutakhul (群馬大 大学院工学研究科) ,  TAMURA TAKURO (群馬大 大学院工学研究科) ,  YIN You (群馬大 大学院工学研究科) ,  HOSAKA SUMIO (群馬大 大学院工学研究科) ,  KIHARA NAOKO (東芝) ,  KAMATA YOSHIYUKI (東芝) ,  KIKITSU AKIRA (東芝)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
Volume： 71st  Page： ROMBUNNO.14A-NC-11  Publication year： Aug. 30, 2010 
JST Material Number： Y0055B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanostructure ,  sequence and arrangement ,  control ,  electron beam lithography ,  pattern formation ,  grid structure ,  *block copolymer ,  polystyrene ,  polydimethylsiloxane ,  *self-organizing ,  information medium ,  *nanodot ,  alignment control
Semi thesaurus term： alignment control

JST classification (2)： Thin films of organic compounds  (BK14070L) ,  Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Terms in the title (6)： 電子線描画 ,  格子 ,  ガイドライン ,  自己組織化 ,  規則 ,  配列制御