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J-GLOBAL ID：201002212856683508   Reference number：10A0060034

Lubrication Property of Carbon Onions on Silicon Surface with Fine Patterns

微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性

Author (2)： INABA TAKENOBU (東京工大 大学院) ,  HIRATA ATSUSHI (東京工大 大学院理工学研究科)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 76  Issue： 1  Page： 59-63  Publication year： Jan. 05, 2010 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： molecular cluster ,  *carbon ,  ultrafine particle ,  lubrication ,  *solid lubricant ,  surface roughness ,  micro structure ,  particle size(diameter) ,  lubricating film ,  morphology(form) ,  friction test ,  friction coefficient ,  nanostructure ,  sliding friction ,  *silicon
Semi thesaurus term： *carbon onion ,  *lubrication characteristic ,  *surface shape

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Lubrication in general  (QB02010S)

Terms in the title (4)： 微細パターン ,  シリコン ,  カーボンオニオン ,  潤滑特性