Art

J-GLOBAL ID：201002220820455153   Reference number：10A0931874

Proposal of Surface Topography Observer considering Z-scanner for High-speed AFM

高速AFMに対するZスキャナを考慮した表面トポグラフィーオブザーバの提案

Author (2)： SHIRAISHI Takayuki (Yokohama National Univ., JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., JPN)
Material： Proceedings of the American Control Conference  (American Control Conference)
Volume： 2010 Vol.4  Page： 2754-2759  Publication year： 2010 
JST Material Number： B0982A  ISSN： 0743-1619  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *speedup ,  *atomic force microscope ,  *scanner ,  surface ,  *topography ,  observation equipment ,  measurement ,  Time ,  image processing ,  dynamic model ,  simulation ,  experiment ,  interatomic interaction ,  optical measurement
Semi thesaurus term： *Zスキャナ ,  *observer

JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Atomic interactions  (BH04020U)

Terms in the title (5)： AFM ,  スキャナ ,  表面トポグラフィー ,  オブザーバ ,  提案