高誘電率絶縁薄膜の結晶化過程とその場観察

AKIMOTO KOICHI; TERASAWA NAOYA; WOLFGANG Voegeli; TAKAHASHI TOSHIO

Art

J-GLOBAL ID：201002221815077635 Reference number：10A0895610

高誘電率絶縁薄膜の結晶化過程とその場観察

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Volume： 28 Issue： 2 Page： 20-24 Publication year： Aug. 2010
JST Material Number： L0090A ISSN： 0916-0604 Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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