Art

J-GLOBAL ID：201002240355059735   Reference number：10A0950047

A Visualization Method of Uneven Areas on Single Layer Thin Films

単層薄膜のむらの視覚化手法

Author (4)： KASHIWAGI TOSHIYUKI (徳島県立工業技術センター) ,  HIGAKI SHINJI (浜松メトリックス(株)) ,  MIYAWAKI TOSHIYUKI (浜松メトリックス(株)) ,  OE SHUN'ICHIRO (四国大学)
Material： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
Volume： 130  Issue： 9  Page： 1530-1536 (J-STAGE)  Publication year： 2010 
JST Material Number： S0810A  ISSN： 0385-4221  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *unevenness(textile) ,  *visualization ,  *thin film ,  inspection ,  interference ,  wafer ,  oxide film
Semi thesaurus term： Si wafer

JST classification (2)： Graphic and image processing in general  (JE04010I) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (16)：

• (1) 「透明膜の検査方法」:特開平10-38753
• (2) 「膜厚ムラ検査方法」:特開平2007-114125
• (3) 「着色膜厚ムラ検査方法および装置」:特開平2007-205743
• (4) 「反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法」:特開平2007-10403
• (5) 「膜厚むら検査装置,膜厚むら検査方法および膜厚むら検査プログラム」:特開平2003-166941A

Terms in the title (5)： 単層 ,  薄膜 ,  むら ,  視覚化 ,  手法