Art

J-GLOBAL ID：201002261575034811   Reference number：10A0052727

Uncertainty of a hybrid surface temperature sensor for silicon wafers and comparison with an embedded thermocouple

シリコンウエハーに対する混合表面温度センサーの不確定性と内蔵熱電対との比較

Author (2)： IUCHI Tohru (Dep. of Mechanical Engineering, Toyo Univ., 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, JPN) ,  GOGAMI Atsushi (Toyo Univ., 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 80  Issue： 12  Page： 126109  Publication year： Dec. 2009 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *wafer ,  *temperature sensor ,  *Uncertainty ,  *thermocouple ,  *surface temperature ,  Si wafer ,  temperature range ,  *thermometer ,  *measuring instrument
Semi thesaurus term： uncertainty ,  混合表面温度センサ ,  不確定性評価

JST classification (2)： Thermometry,thermometer  (AD06010K) ,  Thermoelectric devices  (NC03090J)

Terms in the title (5)： シリコンウエハー ,  表面温度 ,  センサー ,  不確定性 ,  熱電対