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J-GLOBAL ID：201002270984038240   Reference number：10A0610146

The Deposition Condition of Diamond on a Fine Wire by Hot Filament CVD

熱フィラメントCVD法による細線上へのダイヤモンド合成における析出条件の検討

Author (3)： HONDA MASAHIDE (広島県総技研 西部工技セ) ,  YAMAMOTO AKIRA (広島県総技研 西部工技セ) ,  TSUTSUMOTO TAKAHIRO (広島県総技研 西部工技セ)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 61  Issue： 6  Page： 441-446  Publication year： Jun. 01, 2010 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  *Diamond ,  *synthetic mineral ,  metal wire ,  *effect ,  *cooler ,  heat transmission ,  Hydrogen ,  *rate of sedimentation ,  process parameter ,  micro structure ,  alkane ,  thin metallic wire ,  *synthetic diamond ,  *cooling effect ,  *ore ,  *precious stone
Semi thesaurus term： *hot filament CVD

JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Substance index (1)： Methane

Reference (14)：

• 1) 吉川昌範,大竹尚登;気相合成ダイヤモンド,p.28 (オーム社,1995).
• 2) R. Haubner, S. Okoli, B. Lux ; Refractory Metals & Hard Materials, 11, 259 (1192).
• 3) A. Yamamoto, T. Tsutsumoto ; Diamond & Related Materials, 11, 784 (2002).
• 4) 本多正英,縄稚典生,山本 晃,筒本隆博;広島県立総合技術研究所西部工業技術センター研究報告,50, 21 (2007).
• 5) P. W. May, C. A. Rego, R. M. Thomas, M. N. R. Ashfold, K. N. Rosser ; Proc. Electrochem. Soc., 93, 1036 (1993).

Terms in the title (4)： 熱フィラメントCVD ,  細線 ,  ダイヤモンド ,  析出