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J-GLOBAL ID：201002272352109471   Reference number：10A0343095

大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジング-過酸化物ラジカル基密度とグラフト密度の関係-

Author (3)： AKIYAMA HIROMITSU (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  ZETTSU NOBUYUKI (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
Material： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
Volume： 2009  Page： 21-22  Publication year： May. 07, 2009 
JST Material Number： L6024A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *solution growth ,  *thin film growth ,  *atmospheric plasma ,  *polytetrafluoroethylene ,  *metallization (IC) ,  *surface processing ,  adhesion property ,  smoothness ,  nanostructure ,  peroxide (inorganic) ,  radical ,  binding and coupling ,  bonding and joining ,  *Copper ,  grafting (chemical modification)
Semi thesaurus term： grafting ,  *CSD

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (11)： 大気圧プラズマ ,  化学 ,  液相 ,  堆積 ,  フッ素ポリマー ,  密着性 ,  銅 ,  過酸化物 ,  ラジカル ,  密度 ,  グラフト密度