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J-GLOBAL ID：201002276659244576   Reference number：10A0172394

High-speed deposition of high-quality RE123 films by a PLD system with hot-wall heating

ホットウォール加熱を用いたPLDシステムによる高品質RE123薄膜の高速蒸着

Author (11)： KAKIMOTO K (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  IGARASHI M (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  HANADA Y (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  HAYASHIDA T (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  TASHITA C (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  MORITA K (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  HANYU S (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  SUTOH Y (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  KUTAMI H (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  IIJIMA Y (Fujikura Ltd, Chiba, JPN) ,  SAITOH T (Fujikura Ltd, Chiba, JPN)
Material： Superconductor Science and Technology  (Supercond Sci Technol)
Volume： 23  Issue： 1  Page： 014016,1-4  Publication year： Jan. 2010 
JST Material Number： T0607A  ISSN： 0953-2048  CODEN： SUSTEF  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *high temperature superconductor ,  *laser deposition ,  epitaxy ,  *superconducting thin film ,  gadolinium compound ,  barium compound ,  copper compound ,  oxide ,  physical vapor deposition ,  critical current ,  electron microscopy ,  scanning transmisson electron microscope ,  X-ray diffraction ,  crystal structure ,  *pulsed laser deposition
Semi thesaurus term： IBAD method ,  hot-wall epitaxy ,  被覆導体

JST classification (2)： Properties of oxide superconductors  (BM04023I) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (6)： ウォール ,  PLD ,  高品質 ,  RE123 ,  薄膜 ,  蒸着