Art

J-GLOBAL ID：201002284965887890   Reference number：10A1567106

Preparation and characterization of polycrystalline anatase and rutile TiO2 thin films by rf magnetron sputtering

rfマグネトロンスパッタリングによる多結晶アナターゼとルチルTiO2薄膜の作成と特性分析

Author (6)： MIAO L ,  JIN P ,  KANEKO K ,  TERAI A ,  NABATOVA-GABAIN N ,  TANEMURA S
Material： APPLIED SURFACE SCIENCE
Volume： 212  Page： 255-263  Publication year： 2003 
JST Material Number： O0615A  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： RFマグネトロンスパッタリング ,  多結晶 ,  アナターゼ ,  ルチル ,  TiO2 ,  薄膜 ,  分析