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J-GLOBAL ID：201002296200071882   Reference number：10A0319977

Development of a sub-nanometer positioning device: combining a new linear motor with linear motion ball guide ways

サブナノメートル位置決め装置の開発: 新しいリニアモータの直線運動ボール案内路との結合

Author (3)： OTSUKA J (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN) ,  TANAKA T (Toyota National Coll. of Technol., Aichi, JPN) ,  MASUDA I (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
Material： Measurement Science and Technology  (Meas Sci Technol)
Volume： 21  Issue： 3  Page： 037001,1-5  Publication year： Mar. 2010 
JST Material Number： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *positioning device ,  development ,  *linear motor ,  rectilinear motion ,  guide apparatus ,  orbit (trajectory) ,  sphere ,  binding and coupling ,  efficiency ,  length ,  force ,  performance ,  guided bus
Semi thesaurus term： サブナノメートル ,  guide way ,  ball ,  size

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： 位置決め装置 ,  開発 ,  リニアモータ ,  直線運動 ,  ボール ,  案内路