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J-GLOBAL ID：201003000485561087
水晶振動子製造システム、成膜装置、水晶振動子製造方法および成膜方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
松阪 正弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008275927
Publication number (International publication number)：2010101852
Application date： Oct. 27, 2008
Publication date： May. 06, 2010
Summary：
【課題】中間膜の形成、洗浄、感応膜の形成、洗浄を繰り返して水晶振動子を製造する際に、洗浄処理での異常の有無を容易に検出する。【解決手段】水晶振動子製造システム1は、水晶振動子の電極上に中間膜を形成する中間膜形成部41、水晶振動子を洗浄する洗浄部42,44、並びに、中間膜上にアルコール検出用の主感応膜を形成する主感応膜形成部43を備え、中間膜の形成、洗浄、主感応膜の形成、洗浄が順に繰り返される。中間膜形成部41および主感応膜形成部43では、膜の形成の開始時および終了時に水晶振動子の発振周波数が取得され、上記処理の繰り返しにおいて、一方の形成部での膜の形成の終了時における発振周波数と、他方の形成部での当該膜に積層される他の膜の形成の開始時における発振周波数とを比較することにより、当該膜の形成後、当該他の膜の形成前の洗浄処理における膜の変化が検出され、洗浄処理での異常の有無が容易に検出される。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
特定物質の検出用の水晶振動子を製造する水晶振動子製造システムであって、
板状の水晶片の両主面に1対の電極が形成された複数の水晶振動子のそれぞれにおいて、前記1対の電極の少なくとも1つの電極上に中間膜を形成するとともに、少なくとも前記中間膜の形成の開始時および終了時に、前記複数の水晶振動子のうちの一の水晶振動子の発振周波数を前記1対の電極を介して取得する第1測定部を有する中間膜形成部と、
前記中間膜上に前記特定物質を吸着する感応膜を形成するとともに、少なくとも前記感応膜の形成の開始時および終了時に、前記水晶振動子の発振周波数を前記1対の電極を介して取得する第2測定部を有する感応膜形成部と、
前記水晶片を洗浄する洗浄部と、
前記複数の水晶振動子を前記中間膜形成部、前記洗浄部、前記感応膜形成部、前記洗浄部に順に搬送して前記少なくとも1つの電極上に前記中間膜と前記感応膜とを積層する処理を繰り返す搬送部と、
前記中間膜形成部および前記感応膜形成部のうちの一方の形成部における膜の形成の終了時に測定部にて取得される発振周波数と、他方の形成部における前記膜に積層される他の膜の形成の開始時に測定部にて取得される発振周波数とを比較することにより、前記膜の形成後、前記他の膜の形成前の前記洗浄部での処理における膜の変化を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする水晶振動子製造システム。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (7)：
2F068AA28
, 2F068BB05
, 2F068BB24
, 2F068FF23
, 2F068GG01
, 2F068LL12
, 2F068SS02
Cited by applicant (3)
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化学物質識別膜の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-252104
Applicant：財団法人北九州産業学術推進機構
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膜厚監視方法および膜厚監視装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2004-261815
Applicant：株式会社アルバック
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水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッド及びこれを用いた膜厚のモニタ方法。
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-339436
Applicant：株式会社アルバック
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