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J-GLOBAL ID:201003003916554570

ナノワイヤベースの透明導電体およびその適用

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009532614
Publication number (International publication number):2010507199
Application date: Oct. 12, 2007
Publication date: Mar. 04, 2010
Summary:
基板上に被膜される導電層を含む、透明導電体が記載される。より具体的には、導電層は、マトリクス内に内蔵され得るナノワイヤのネットワークを備える。導電層は、光学的に透明、かつパターン化可能であって、タッチスクリーン、液晶表示装置、プラズマ表示パネル等の視覚表示デバイス内の透明電極として好適である。本発明の一実施形態によって提供される方法は、基板上にナノワイヤネットワークを形成するステップであって、ナノワイヤネットワークは、複数のナノワイヤを備える、ステップと、パターンに従って、前記ナノワイヤネットワーク上にマトリクスを形成するステップと、ナノワイヤネットワークをエッチングするステップであって、それによって、第2の領域内の非保護ナノワイヤは、溶解される、ステップとを含む。
Claim (excerpt):
基板上にナノワイヤネットワークを形成するステップであって、前記ナノワイヤネットワークは、複数のナノワイヤを備える、ステップと、 パターンに従って、前記ナノワイヤネットワーク上にマトリクスを形成するステップであって、前記パターンは、前記ナノワイヤネットワークの第1の領域および第2の領域を画定し、前記第1の領域内の前記ナノワイヤネットワークは、マトリクス保護ナノワイヤを備え、前記第2の領域内の前記ナノワイヤネットワークは、非保護ナノワイヤを備える、ステップと、 前記ナノワイヤネットワークをエッチングするステップであって、それによって、前記第2の領域内の前記非保護ナノワイヤは、溶解される、ステップと を含む、方法。
IPC (8):
H01B 13/00 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/042 ,  G02F 1/134 ,  B82B 3/00 ,  B82B 1/00 ,  H01J 11/02 ,  H01J 9/02
FI (10):
H01B13/00 503B ,  H01B13/00 503D ,  H01B5/14 A ,  H01B5/14 B ,  H01L31/04 R ,  G02F1/1343 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01J11/02 B ,  H01J9/02 F
F-Term (29):
2H092HA03 ,  2H092KB13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA27 ,  5C027AA02 ,  5C027AA03 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC06 ,  5C040GC19 ,  5C040JA14 ,  5C040KA01 ,  5C040KB09 ,  5F051DA04 ,  5F051DA19 ,  5F051FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB02 ,  5G307FC02 ,  5G307FC03 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10 ,  5G323BA01 ,  5G323BB01 ,  5G323BB04 ,  5G323CA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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