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J-GLOBAL ID:201003010946675158

強誘電性酸化物とその製造方法、圧電体、圧電素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008267049
Publication number (International publication number):2010004007
Application date: Oct. 16, 2008
Publication date: Jan. 07, 2010
Summary:
【課題】圧電性能に優れた強誘電性酸化物を提供する。【解決手段】ACO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Xと、BDO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Yとが互いに異なる対称性及び分極方向を有し、式(1)を充足する条件で、式(a)で表される強誘電性酸化物の組成を決定し、その組成の強誘電性酸化物を製造する。 (Ax,B1-x)(Cy,D1-y)O3・・・(a)(式(a)中、0≦x≦1、0≦y≦1。A,B:Aサイト元素、C,D:Bサイト元素、O:酸素原子、A〜Dは各々1種又は複数種の金属元素。)、 |E(X)-E(Y)|≦E・PV・・・(1) (式(1)中、E(X)及びE(Y)はそれぞれ、上記一般式(a)で表される強誘電性酸化物の結晶構造X及びYの時のエネルギー、Pは電場をかける前の自発分極密度ベクトル、Eは駆動電場ベクトル、Vは基本格子の体積である。E・PはEとPの内積である。)【選択図】なし
Claim (excerpt):
下記一般式(a)で表される組成を有する強誘電性酸化物の製造方法において、ACO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Xと、BDO3で表される強誘電性酸化物の最も安定な結晶構造Yとが互いに異なる対称性及び分極方向を有し、下記式(1)を充足するように前記強誘電性酸化物の組成を決定し、 該組成の強誘電性酸化物を製造することを特徴とする強誘電性酸化物の製造方法。 (Ax,B1-x)(Cy,D1-y)O3・・・(a) (式(a)中、0≦x≦1、0≦y≦1。 A,B:Aサイト元素、C,D:Bサイト元素、O:酸素原子、A〜Dは各々1種又は複数種の金属元素。 A,Bは互いに異なる組成でもよいし、共通の組成でもよい。ただし、AとBが共通の組成の場合、CとDとは互いに異なる組成である。 C,Dは互いに異なる組成でもよいし、共通の組成でもよい。ただし、CとDが共通の組成の場合、AとBとは互いに異なる組成である。)、 |E(X)-E(Y)|≦E・PV・・・(1) (式(1)中、E(X)及びE(Y)はそれぞれ、上記一般式(a)で表される強誘電性酸化物の結晶構造X及びYの時のエネルギー、Pは電場をかける前の自発分極密度ベクトル、Eは駆動電場ベクトル、Vは基本格子の体積である。E・PはEとPの内積である。)
IPC (10):
H01L 41/24 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 21/316 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 2/00
FI (9):
H01L41/22 A ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L21/316 B ,  B41J3/04 103A ,  H02N2/00 B
F-Term (17):
2C057AF51 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF06 ,  5F058BF12 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BJ04 ,  5F083FR01 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA43 ,  5F083JA45
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1) Cited by examiner (7)
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