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J-GLOBAL ID：201003011202597104

結晶半導体の製造方法およびそれを用いた半導体素子の製造方法

Inventor： 岡田 竜弥 ,  牧原 克典 ,  宮崎 誠一
Applicant, Patent owner： 国立大学法人広島大学
Agent (1)： 松山 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009077922
Publication number (International publication number)：2010232401
Application date： Mar. 27, 2009
Publication date： Oct. 14, 2010
Summary：

【課題】低温で結晶半導体を形成可能な結晶半導体の製造方法を提供する。【解決手段】80〜240nmの膜厚を有するa-Ge膜2が基板1上に形成される(工程(b)参照)。そして、約10nmの膜厚を有するSiO2膜3がa-Ge膜2上に形成される(工程(c)参照)。その後、約90nmの膜厚を有するPt薄膜4がスパッタリングまたは蒸着によってSiO2膜3上に形成される(工程(d)参照)。そして、Pt薄膜4は、水素リモートプラズマによって処理される(工程(e)参照)。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

半導体材料と異なる材料からなる異種基板上に非晶質半導体を形成する第1の工程と、 前記非晶質半導体上に絶縁膜を形成する第2の工程と、 水素リモートプラズマに曝されると前記非晶質半導体の結晶化温度よりも温度が上昇する金属材料からなる金属薄膜を前記絶縁膜上に形成する第3の工程と、 前記金属薄膜を室温で前記水素リモートプラズマによって処理する第4の工程とを備える結晶半導体の製造方法。

IPC (12)：

H01L 21/20 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/115 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 21/205 ,  C23C 14/58 ,  C30B 29/08 ,  C30B 30/00 ,  C30B 1/02

FI (9)：

H01L21/20 ,  H01L29/78 627G ,  H01L27/10 434 ,  H01L29/78 371 ,  H01L21/205 ,  C23C14/58 Z ,  C30B29/08 ,  C30B30/00 ,  C30B1/02

F-Term (103)：

4G077AA03 ,  4G077BA05 ,  4G077CA03 ,  4G077ED04 ,  4G077EF01 ,  4G077EJ10 ,  4G077HA06 ,  4G077JA03 ,  4G077JA06 ,  4G077JB01 ,  4G077JB02 ,  4G077JB06 ,  4G077RA09 ,  4K029BA13 ,  4K029BC03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC34 ,  4K029GA02 ,  5F045AA08 ,  5F045AB05 ,  5F045AB32 ,  5F045AC01 ,  5F045AC11 ,  5F045AD06 ,  5F045AE19 ,  5F045AF07 ,  5F045BB07 ,  5F045CA15 ,  5F045DA61 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EF02 ,  5F045EH11 ,  5F045EH18 ,  5F045EK09 ,  5F045HA11 ,  5F045HA16 ,  5F045HA22 ,  5F083EP17 ,  5F083EP22 ,  5F083EP49 ,  5F083ER21 ,  5F083GA01 ,  5F083GA11 ,  5F083GA27 ,  5F083HA10 ,  5F083JA02 ,  5F083JA06 ,  5F083JA36 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083PR05 ,  5F083PR21 ,  5F083PR25 ,  5F083ZA21 ,  5F101BA54 ,  5F101BB02 ,  5F101BD02 ,  5F101BD30 ,  5F101BD39 ,  5F101BF05 ,  5F101BH11 ,  5F101BH17 ,  5F110AA17 ,  5F110BB05 ,  5F110CC01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD03 ,  5F110EE03 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF30 ,  5F110GG03 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK33 ,  5F110HL03 ,  5F110HL23 ,  5F110PP01 ,  5F110PP13 ,  5F110PP31 ,  5F152BB02 ,  5F152BB03 ,  5F152CC03 ,  5F152CD13 ,  5F152CD17 ,  5F152CD24 ,  5F152CE06 ,  5F152CE14 ,  5F152CE24 ,  5F152CE48 ,  5F152CF13 ,  5F152CF17 ,  5F152CF18 ,  5F152EE13 ,  5F152EE15 ,  5F152FF20