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J-GLOBAL ID：201001082673435659   Update date: Aug. 31, 2020

Tatsuya Okada

オカダ タツヤ | Tatsuya Okada
Affiliation and department：
University of the Ryukyus Faculty of Engineering Department of Electrical and Electronics Engineering

About University of the Ryukyus Faculty of Engineering Department of Electrical and Electronics Engineering


Job title： Assistant Professor
Homepage URL  (2)： http://www.cc.u-ryukyu.ac.jp/~tokada ,  http://www.cc.u-ryukyu.ac.jp/~tokada
Research field  (2)： Thin-film surfaces and interfaces ,  Electronic devices and equipment
Research keywords  (4)： 急速熱処理 ,  薄膜半導体 ,  Rapid Thermal Annealing ,  Thin Film Semiconductor
MISC (54)：
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Lectures and oral presentations  (268)：
  • 青色半導体レーザアニール中のポリイミド上Si膜の温度解析
    (第63回応用物理学会春季学術講演会 (東工大, 2016年3月19-22日) 2016)
  • n+p接合太陽電池に対する水素アニールの最適化
    (第63回応用物理学会春季学術講演会 (東工大, 2016年3月19-22日) 2016)
  • スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT
    (第63回応用物理学会春季学術講演会 (東工大, 2016年3月19-22日) 2016)
  • 低コストのCMOSを目指した金属ソース・ドレイン電極によるpチャネル型TFTの実現
    (第63回応用物理学会春季学術講演会 (東工大, 2016年3月19-22日) 2016)
  • 急速熱処理したInSb膜の電気的特性
    (第63回応用物理学会春季学術講演会 (東工大, 2016年3月19-22日) 2016)
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Professional career (2)：
  • Doctor of Engineering (Hiroshima University)
  • Master of Engineering (Hiroshima University)
Work history (2)：
  • 2009/04/01 - - , 琉球大学 工学部 電気電子工学科 電子物性工学講座
  • 2009/04/01 - - , University of the Ryukyus, Faculty of Engineering, Electrical and Electronics Engineering, Electronics and Electronic Materials,
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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