金属微粒子の噴射ノズル

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松永宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009017618
Publication number (International publication number)：2010172817
Application date： Jan. 29, 2009
Publication date： Aug. 12, 2010
Summary：

【課題】金属微粒子の飛散を低減することにある。【解決手段】噴射装置は、一方向へ延びる第1の流路であって、金属微粒子を出口をそれぞれ一端部及び他端部の側に有する第1の流路と、第2の流体のための第2の流路であって、前記第1の流路の途中に前記第1の流路の周りから連通された第2の流路と、前記第1の流路の他端部の側に形成され、前記流出口の周りを延びて前記流出口と同じ側に開口する第3の流路であって、吸引装置又は空気供給源に連結される連結部を有する第3の流路とを含む。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

一方向へ延びる第1の流路であって、金属微粒子を含む第1の流体の流入口及び流出口をそれぞれ一端部及び他端部の側に有する第1の流路と、第2の流体のための第2の流路であって、前記第1の流路の途中に前記第1の流路の周りから連通された第2の流路と、前記第1の流路の他端部の側に形成され、前記流出口の周りを延びて前記流出口と同じ側に開口する第3の流路であって、吸引装置又は空気供給源に連結される連結部を有する第3の流路とを含む、金属微粒子の噴射装置。

IPC (2)：

B05B 15/04 , B05B 7/14

FI (2)：

B05B15/04 104 , B05B7/14

F-Term (14)：

4D073AA01 , 4D073BB01 , 4D073BB06 , 4D073CA16 , 4D073DC02 , 4F033QA01 , 4F033QB02 , 4F033QB09 , 4F033QB12 , 4F033QB19 , 4F033QC09 , 4F033QE09 , 4F033QE12 , 4F033QH02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

成膜装置及び電子部品の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-067931 Applicant：富士通株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
特開昭57-203789
小型エアゾールジェット流及びエアゾールジェット流配列構造
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2007-545734 Applicant：オプトメックデザインカンパニー

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Cited by examiner (5)

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特開昭57-203789
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