感放射線性樹脂組成物、それに用いる重合体およびそれに用いる化合物

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009191426
Publication number (International publication number)：2010265435
Application date： Aug. 20, 2009
Publication date： Nov. 25, 2010
Summary：

【課題】LWRが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)特定のスルホンアミド基を側鎖に有する重合体および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物を提供する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(A1)下記式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体および (B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

C08L 33/14 , G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C08F 220/38 , C07C 381/12 , C07C 311/09

FI (7)：

C08L33/14 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R , C08F220/38 , C07C381/12 , C07C311/09

F-Term (69)：

2H125AF17P , 2H125AF34P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF70P , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AL03 , 2H125AL11 , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB46 , 4H006AB76 , 4H006TN10 , 4H006TN60 , 4J002BG071 , 4J002EB116 , 4J002EU026 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002FD146 , 4J002FD200 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA56R , 4J100BA56S , 4J100BA59Q , 4J100BA59R , 4J100BA59S , 4J100BB12R , 4J100BB12S , 4J100BB18Q , 4J100BB18R , 4J100BB18S , 4J100BC03P , 4J100BC03R , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

難燃性非水電解液およびそれを用いた二次電池
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-267274 Applicant：三洋化成工業株式会社
感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-009840 Applicant：富士フイルム株式会社

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