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J-GLOBAL ID：200903052534595595

感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物

Inventor：
和田 健二

About 和田 健二


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (2)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008009840
Publication number (International publication number)：2009093137
Application date： Jan. 18, 2008
Publication date： Apr. 30, 2009
Summary：
【課題】通常露光(ドライ露光)、液浸露光、二重露光において、パターン形状、ラインエッジラフネスが良好である、感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物を提供する。【解決手段】下記一般式(I)で表される化合物に対応する繰り返し単位を含有し、活性光線又は放射線の照射により酸基を生成する樹脂(A)を含有することを特徴とする感光性組成物。 【化1】【選択図】なし
Claim (excerpt)：
下記一般式(I)で表される化合物に対応する繰り返し単位を含有し、活性光線又は放射線の照射により酸基を生成する樹脂(A)を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (5)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/10 ,  G03F 7/38
FI (5)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/10 ,  G03F7/38 501
F-Term (40)：
2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025FA04 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096CA06 ,  2H096DA10 ,  2H096EA05 ,  2H096EA12 ,  2H096GA09 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03S ,  4J100BA11P ,  4J100BA20Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC04S ,  4J100BC08P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC28S ,  4J100BC36R ,  4J100BC36S ,  4J100BC53P ,  4J100BC58P ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 特開昭57-153433号公報
  • パターン形成方法及びその露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-008136   Applicant：株式会社日立製作所
  • 国際公開第04-077158号パンフレット
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Cited by examiner (1)

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