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J-GLOBAL ID：201003038403786539
波面評価方法及び波面評価用プログラム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008329507
Publication number (International publication number)：2010151591
Application date： Dec. 25, 2008
Publication date： Jul. 08, 2010
Summary：
【課題】被検光学系を通過した光の波面が複数の領域に分かれているような場合でも、その波面の状態を正確に評価する。【解決手段】物体光ILOと参照光ILRとの干渉縞IFに基づいて物体光ILOの波面を評価する波面評価方法において、干渉縞IFの強度分布から第1の位相分布を求め、その第1の位相分布からx方向、y方向の差分波面の第2の位相分布を求め、物体光ILOの波面をゼルニケ多項式を用いて展開したときのゼルニケ係数を用いて、その第2の位相分布に対応するゼルニケ多項式の差分を含む演算式を求め、その第2の位相分布とその演算式とを用いてそのゼルニケ係数の値を求める。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
物体光と参照光との干渉縞に基づいて前記物体光の波面を評価する波面評価方法において、
前記干渉縞の強度分布に基づいて、第1の位相分布を求める段階と、
前記第1の位相分布に基づいて、互いに交差する2方向の差分波面の第2の位相分布を求める段階と、
前記物体光の波面を評価関数を用いて展開したときの収差評価係数を用いて、前記第2の位相分布に対応する前記評価関数の差分を含む演算式を求める段階と、
前記第2の位相分布と前記演算式とを用いて前記収差評価係数の値を求める段階と、
を有することを特徴とする波面評価方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (1)：
Patent cited by the Patent：
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