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J-GLOBAL ID：200903041044556760

縞走査干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法

Inventor：
牧 裕一

About 牧 裕一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003157050
Publication number (International publication number)：2004361133
Application date： Jun. 02, 2003
Publication date： Dec. 24, 2004
Summary：
【課題】簡単な処理により、位相つなぎを行うことができる方法を提供する。【解決手段】まず、ステップS1においてセグメントの抽出を行う。次にステップS2において各セグメント内での位相つなぎを行う。この方法は、従来公知のほう方法と変わるところは無い。次にステップS3において、セグメント集合体の検出を行う。このようにしてセグメントの集合体が決定されると、ステップS4で、集合体内のセグメント間で位相つなぎを行う。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
縞走査干渉測定方式により、物体光と参照光とを干渉させ、その干渉縞の強度を2次元エリアセンサで読み取り、読み取った強度値を用いて各点での位相データを計算し、求めた位相データから連続的な位相分布を求める波面の位相つなぎ方法であって、前記2次元エリアセンサの1方向をx軸方向、それに直交する方向をy方向とした場合、 (a)x軸方向に連続する有効画素の集合をセグメントとし、全てのセグメントを抽出する工程と、 (b)抽出された全セグメントについて、セグメント内で位相つなぎ処理を行う工程と、 (c)▲1▼適当な一つのセグメントを選出し、リストに登録してそのセグメントを処理対象とし、 ▲2▼このセグメントに連結しているセグメントのうち未だ処理対象になっていないものを全て抽出し、リストに登録してそのセグメントを処理対象とし、さらにこれらの抽出されたセグメントに連結しているセグメントであって、未だ処理対象になっていないセグメントを全て抽出して、リストに登録してそのセグメントを処理対象とする工程を繰り返すことによりセグメントの集合体を抽出すると共に、 ▲3▼処理対象にならなかったセグメントが有る場合にはそのうちから、適当な一つのセグメントを選出し、処理対象とし、 ▲4▼このセグメントに連結しているセグメントを前記▲2▼の方法により抽出することにより、新たなセグメントの集合体を抽出し、 ▲5▼前記▲3▼と▲4▼の工程を選出と抽出の対象にならなかったセグメントが無くなるまで繰り返す工程と、 (d)前記各セグメントの集合体内において、y方向に隣り合うセグメント間で位相つなぎ処理を行う工程 とを有することを特徴とする縞走査干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法。
IPC (1)：
G01B9/02
FI (1)：
G01B9/02
F-Term (6)：
2F064GG53 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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