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J-GLOBAL ID：201003043690804953

ローラー型ナノインプリント装置

Inventor： 山田 信明 ,  藤井 暁義 ,  林 秀和 ,  田口 登喜生
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 特許業務法人 安富国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010063182
Publication number (International publication number)：2010188731
Application date： Mar. 18, 2010
Publication date： Sep. 02, 2010
Summary：

【課題】金型ロールによりナノ構造が転写された被転写膜の厚みが不均一になることを防止することができ、また、金型ロールを容易に交換することができるローラー型ナノインプリント装置を提供する。【解決手段】金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、上記金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、上記ナノインプリント装置は、上記金型ロールの内周面に囲まれた領域に、流体の注入により膨張可能な弾性膜を備える流体容器を有し、上記弾性膜を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、上記弾性膜を膨張させた状態で金型ロールを内側から保持するローラー型ナノインプリント装置である。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

金型ロールを回転させることで被転写膜の表面にナノメートルサイズの突起を連続的に形成するローラー型ナノインプリント装置であって、 該ナノインプリント装置は、更に、 該装置に取り付け可能であり、かつ開口が形成された中空の中空ロールと、 流体の注入により膨張可能な袋状の弾性膜からなる弾性袋とを有し、 該金型ロールは、外周面にナノメートルサイズの窪みが形成された円筒体であり、 該金型ロールの内周面に囲まれた領域に、該中空ロールが配置され、該中空ロール内に、弾性袋が配置されており、 該ナノインプリント装置は、該弾性袋を収縮させた状態で金型ロールの着脱を行い、かつ該弾性袋を膨張させて中空ロールの開口から露出させた部分を金型ロールの内周面に接触させることにより金型ロールを保持し、金型ロールを保持した状態で中空ロールを回転させることにより金型ロールを回転させる ことを特徴とするローラー型ナノインプリント装置。

IPC (6)：

B29C 59/04 ,  H01L 21/027 ,  B29C 33/30 ,  B29C 33/38 ,  B29C 33/42 ,  G02B 1/11

FI (6)：

B29C59/04 C ,  H01L21/30 502D ,  B29C33/30 ,  B29C33/38 ,  B29C33/42 ,  G02B1/10 A

F-Term (22)：

2K009AA01 ,  2K009DD15 ,  4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AH78 ,  4F202AJ02 ,  4F202CA19 ,  4F202CB02 ,  4F202CB29 ,  4F202CD18 ,  4F202CD24 ,  4F202CR04 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ08 ,  4F209PA03 ,  4F209PA04 ,  4F209PB02 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ01 ,  4F209PQ03 ,  5F046AA28