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J-GLOBAL ID：201003045924651768

有機金属化合物を含む排ガスの処理装置および処理方法

Inventor： 平岡 学 ,  田畑 真大 ,  三野 栄 ,  中本 直之 ,  茨木 義浩 ,  佐藤 美鈴
Applicant, Patent owner： 日本エア・リキード株式会社 ,  レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
Agent (1)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008332351
Publication number (International publication number)：2010149082
Application date： Dec. 26, 2008
Publication date： Jul. 08, 2010
Summary：

【課題】 比較的簡便な構成で、効率よく有機金属化合物を処理し、その金属成分の回収が可能で、安全かつ操作性のよい有機金属化合物を含む排ガスの処理装置および処理方法を提供することにある。【解決手段】 排ガスが導入される排ガス導入口1と、導入された排ガスが酸素を含む処理用ガスと混合され加熱状態で1次酸化処理される1次酸化部3と、1次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする1次トラップ部4aと、1次トラップ処理された被処理ガスが酸化触媒層に導入され2次酸化処理される2次酸化部5と、2次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする2次トラップ部4bと、を有するとともに、1次酸化処理および2次酸化処理によって生成された粉状の金属酸化物を清浄流体により逆洗する機能を有することを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

有機金属化合物を含む排ガスが導入される排ガス導入口と、導入された排ガスが酸素を含む処理用ガスと混合され加熱状態で1次酸化処理される1次酸化部と、1次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする1次トラップ部と、1次トラップ処理された被処理ガスが酸化触媒層に導入され2次酸化処理される2次酸化部と、2次酸化処理により生成した金属酸化物を含む粉状物をトラップする2次トラップ部と、を有するとともに、1次酸化処理および2次酸化処理によって生成された粉状の金属酸化物を清浄流体により逆洗する機能を有することを特徴とする有機金属化合物を含む排ガスの処理装置。

IPC (5)：

B01D 53/86 ,  B01J 23/42 ,  B01D 53/44 ,  B01D 53/74 ,  B01D 53/72

FI (4)：

B01D53/36 G ,  B01J23/42 A ,  B01D53/34 117G ,  B01D53/34 120D

F-Term (20)：

4D002AA40 ,  4D002AC10 ,  4D002BA05 ,  4D002BA14 ,  4D002CA07 ,  4D002DA70 ,  4D002EA13 ,  4D002FA10 ,  4D048AA17 ,  4D048AB01 ,  4D048BA30X ,  4D048BB01 ,  4D048BB02 ,  4G169AA03 ,  4G169BC75B ,  4G169CA02 ,  4G169CA07 ,  4G169DA06 ,  4G169EA02Y ,  4G169EA18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 強誘電体薄膜処理排ガスの除害処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-222660   Applicant：関東電化工業株式会社
• ガスの処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-288568   Applicant：日本酸素株式会社