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J-GLOBAL ID：201003050857318424

試料分析方法、試料搬入部材、試料搬入方法および昇温脱離分析装置

Inventor： 前島 邦光 ,  高井 健一 ,  平下 紀夫
Applicant, Patent owner： 電子科学株式会社
Agent (1)： 亀井 岳行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009162087
Publication number (International publication number)：2010054498
Application date： Jul. 08, 2009
Publication date： Mar. 11, 2010
Summary：

【課題】試料に含まれる極微量の成分の分析の感度を高めること。【解決手段】液体中で試料(14)を調製する試料調製工程と、調製された試料(14)を、試料搬入部材(21)の冷媒液収容部(21b)に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、試料(14)が収容された試料搬入部材(21)を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室(2)に接続された搬入室(12)に搬入する試料搬入工程と、搬入室(12)を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、搬入室(12)の試料搬入部材(21)を分析真空室(2)に移動させ、試料搬入部材(21)の試料(14)を、分析真空室(2)の試料保持部材(3)に移動させる試料移動工程と、試料保持部材(3)の試料に対して分析を行う試料分析工程と、を実行する試料分析方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

液体中で試料を調製する試料調製工程と、 調製された前記試料を、試料搬入部材の冷媒液収容部に収容された液体状の冷媒中に沈んだ状態で収容する試料冷却収容工程と、 前記試料が収容された前記試料搬入部材を、真空状態に排気されて分析が行われる分析真空室に接続された搬入室に搬入する試料搬入工程と、 前記搬入室を、真空状態に排気する搬入室排気工程と、 前記搬入室の前記試料搬入部材を前記分析真空室に移動させ、前記試料搬入部材の前記試料を、前記分析真空室の試料保持部材に移動させる試料移動工程と、 前記試料保持部材の試料に対して分析を行う試料分析工程と、 を実行することを特徴とする試料分析方法。

IPC (1)：

G01N 1/00

FI (1)：

G01N1/00 101C

F-Term (5)：

2G052AD12 ,  2G052AD52 ,  2G052CA04 ,  2G052CA05 ,  2G052GA24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 昇温脱離ガス分析装置および分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-320944   Applicant：松下電器産業株式会社

Cited by examiner (1)

• 特開昭54-118164