酸化物中空粒子、その製造方法及び酸化物中空粒子製造装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：重信和男 , 水野昭宣 , 清水英雄 , 高木祐一 , 中野佳直 , 秋庭英樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008293788
Publication number (International publication number)：2010120786
Application date： Nov. 17, 2008
Publication date： Jun. 03, 2010
Summary：

【課題】サブマイクロオーダーやナノサイズを有している無機酸化物中空粒子、特には、球形金属酸化物単結晶中空サブマイクロ粒子や球形金属酸化物単結晶中空ナノ粒子を、簡単な方法で合成し且つ回収する方法を提供する。【解決手段】真空容器中に、金属酸化物源である金属の第一電極と放電空間を囲む絶縁板、そして、該絶縁板の外面に第二電極を備え、且つ、該真空容器中への気体導入部を備えているスパッタリング装置において、前記第一電極と前記第二電極間に変動電圧を与え、前記気体導入部より酸素を0.1%以上含む気体を導入して、プラズマ中で、第一電極のスパッタリング及び飛散第一電極金属原子と酸素との酸化反応を同一放電空間で行うことにより球形金属酸化物単結晶中空粒子を生成せしめる。放電プラズマやガス流を制御することによって均質な粒径分布や空洞径/粒径の比の制御が可能になる。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

平均直径が10nm〜1μmの中空球状の粒子であり、単結晶金属酸化物から構成された粒子であることを特徴とする球形金属酸化物単結晶中空粒子。

IPC (4)：

C30B 29/16 , C01B 13/14 , C30B 29/66 , C30B 30/02

FI (4)：

C30B29/16 , C01B13/14 Z , C30B29/66 , C30B30/02

F-Term (20)：

4G042DB05 , 4G042DB16 , 4G042DB29 , 4G042DB35 , 4G042DD03 , 4G042DD13 , 4G042DE03 , 4G042DE14 , 4G077AA01 , 4G077AB09 , 4G077BB01 , 4G077BB02 , 4G077BB04 , 4G077BB07 , 4G077DA17 , 4G077EA07 , 4G077EJ01 , 4G077HA20 , 4G077SB01 , 4G077UA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

中空状酸化物粉末粒子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-008280 Applicant：株式会社豊田中央研究所
微細粉末を製造するためのプラズマアーク反応器
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-557715 Applicant：テトロニクスリミテッド

Cited by examiner (7)

無機酸化物の中空単結晶および当該単結晶を含有する結晶材料、ならびにこれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-136562 Applicant：独立行政法人科学技術振興機構, 独立行政法人物質・材料研究機構
ガリウムが内含された単結晶酸化マグネシウムナノチューブとその製造方法ならびにそれを用いた温度感知素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-186610 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構
酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-343710 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構