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J-GLOBAL ID：201003062531931469
X線画像検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (4)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 伊坪 公一
, 水谷 好男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009066584
Publication number (International publication number)：2010217098
Application date： Mar. 18, 2009
Publication date： Sep. 30, 2010
Summary：
【課題】X線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたX線画像検査装置を提供する。【解決手段】X線画像検査装置100は、10keV以下のKα特性X線を発生するX線ターゲット5を有する特性X線発生器10と、ペルチエ素子22により冷却される直接入射型冷却X線CCD検出器20と、を備える。特性X線発生器10とX線CCD検出器との間に配置された試料40を回転させ、試料40を透過したX線を検出することにより撮像する。X線ターゲット5は、原子番号が20から30までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか1つを選択することができる。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
10keV以下のKα特性X線を発生するX線ターゲットを有する特性X線発生器と、
直接入射型冷却X線CCD検出器と、を備え、
前記Kα特性X線発生器と前記直接入射型冷却X線CCD検出器との間に配置された試料を透過したX線を検出することにより撮像することを特徴とするX線画像検査装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (18)：
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001BA05
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA06
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA08
, 2G001JA14
, 2G001LA01
, 2G001LA05
, 2G001NA03
, 2G001PA12
