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J-GLOBAL ID:201003063103299304
カンチレバーアレイのための、独立してアドレス可能な自己修正インク付け方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (11):
清水 初志
, 春名 雅夫
, 山口 裕孝
, 刑部 俊
, 井上 隆一
, 佐藤 利光
, 新見 浩一
, 小林 智彦
, 渡邉 伸一
, 大関 雅人
, 川本 和弥
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2010519992
Publication number (International publication number):2010536033
Application date: Aug. 08, 2008
Publication date: Nov. 25, 2010
Summary:
堆積において使用するためのパターニング組成物またはインクを、チップおよび他の表面に負荷する改良法を提供する。(i)少なくとも1つのチップアレイを提供する工程;(ii)複数のパターニング組成物を提供する工程;(iii)パターニング組成物の少なくともいくらかをチップのいくつか上にインクジェットプリントする工程;および(iv)パターニング組成物の少なくともいくらかを基材表面上に堆積させる工程を含み、前記インクジェットプリントが、チップ上のパターニング組成物の実質的な交差汚染が阻止されるように適合される、パターニング方法を記載する。良好なプリンティングの再現性およびプリンティング速度の制御を達成することができる。インクジェットプリントに供せられる表面は、チップ上でのインクの局在化が促進されるように処理することができる。この方法は高密度アレイに関し特に重要である。
Claim (excerpt):
少なくとも1つのチップアレイを提供する工程;
互いに異なる少なくとも2つのパターニング組成物を提供する工程;
少なくとも2つの異なるパターニング組成物をチップの少なくともいくつか上にインクジェットプリントする工程;および
インクジェットプリントしたパターニング組成物の少なくともいくらかを基材表面上に堆積させる工程
を含み、前記チップアレイおよびインクジェットプリントが、チップ上のパターニング組成物の実質的な交差汚染を阻止するように適合される、方法。
IPC (4):
G01Q 60/38
, B82B 3/00
, G01Q 60/42
, G01Q 70/06
FI (4):
G01N13/16 101G
, B82B3/00
, G01N13/16 101K
, G01N13/10 111G
Patent cited by the Patent: