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J-GLOBAL ID：200903087915181469
デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004314034
Publication number (International publication number)：2006125984
Application date： Oct. 28, 2004
Publication date： May. 18, 2006
Summary：
【課題】デイジー型カンチレバーホイール構造となして、これを回転することにより、計測ヘッドや修飾ヘッドの設定を容易にし、遠心力を用いた修飾、試料付着、並びに試料への力の印加を可能とし、カンチレバーアレーの固有振動数や振幅の変化の計測を容易にすることができるデイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置を提供する。【解決手段】デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置において、円盤状基板1と、この円盤状基板1のラジアル方向にその長手軸を一致させて配置される複数のカンチレバーアレー3と、このカンチレバーアレー3を有する円盤状基板1の回転手段と、カンチレバーアレー3の位置決め装置と、カンチレバーアレー3に対応する位置に配置され、カンチレバー2の運動を計測する光計測ヘッド7とを備え、円盤状基板1の回転に伴って順次カンチレバー2の周波数変化や振幅変化を計測する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
(a)円盤状基板と、
(b)該円盤状基板のほぼラジアル方向にその長手軸を一致させて配置されるカンチレバーアレーと、
(c)前記カンチレバーアレーが配置される円盤状基板の回転手段と、
(d)前記カンチレバーアレーの位置決め装置と、
(e)前記カンチレバーアレーに対応する位置に配置され、カンチレバーの運動を計測する光計測ヘッドとを備え、
(f)前記円盤状基板の回転に伴って順次カンチレバーの周波数変化や振幅変化を計測することを特徴とするデイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置。
IPC (3)：
G01N 13/10
, G01N 13/16
, G01N 27/62
G01N13/10 A
, G01N13/16 A
, G01N27/62 K
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (16)
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