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J-GLOBAL ID：201003070851255901

X線拡大撮影用徴小焦点電子顕微鏡アダプター

Inventor：
田中 成泰

About 田中 成泰

, 
小山 修司

About 小山 修司

, 
前田 尚利

About 前田 尚利


Applicant, Patent owner：
前田 尚利

About 前田 尚利


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008251632
Publication number (International publication number)：2010051769
Application date： Aug. 29, 2008
Publication date： Mar. 11, 2010
Summary：
【課題】 電子顕微鏡の超微小焦点より発生するX線を用いて、X線拡大撮影を行うこと。【解決手段】 電子顕微鏡で用いられる電子線の超微小焦点の位置に、台形の金属ターゲットを設置し、加速された電子をターゲットにあてることにより、発生する制動X線を、電子顕微鏡の加速筒(鏡筒)と直角方向に置かれたアダプター内に導き、ターゲットの近傍に設置された試料に当てる。透過したX線は、ターゲットから遠くに置かれたX線検出器によって拡大画像を得る。照射する電子線の焦点のターゲット上の位置を変えることにより、観察する試料部位と拡大率を決める。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
電子顕微鏡の電子ビームを金属ターゲット上の小焦点に絞り、発生した微小焦点からのX線を電子顕微鏡の加速筒(鏡筒)と直角方向に取り出すこと。
IPC (4)：
A61B 6/00 ,  G01N 23/04 ,  H05G 1/00 ,  H01J 37/252
FI (4)：
A61B6/00 300Z ,  G01N23/04 ,  H05G1/00 E ,  H01J37/252 A
F-Term (22)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA01 ,  2G001LA11 ,  4C092AA01 ,  4C092AB04 ,  4C092AC01 ,  4C092AC08 ,  4C092BD04 ,  4C092BD05 ,  4C093CA02 ,  4C093DA06 ,  4C093EA04 ,  5C033PP02 ,  5C033PP04 ,  5C033PP06 ,  5C033PP08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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