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J-GLOBAL ID：201003072603349200

単結晶引下げ方法及び引下げ装置

Inventor：
小野寺 晃

About 小野寺 晃

, 
遠田 一重

About 遠田 一重


Applicant, Patent owner：
TDK株式会社

About TDK株式会社


Agent (6)： 岡部 正夫 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009095404
Publication number (International publication number)：2010241663
Application date： Apr. 10, 2009
Publication date： Oct. 28, 2010
Summary：
【課題】坩堝に対して濡れ性に劣る原材料融液より中空状単結晶を得る方法を提供する。【解決手段】底部が閉塞された閉塞部となる円筒形状を有し、閉塞部を円筒形状の内部から外部に貫通する貫通孔11bを有する坩堝11の内部に保持された原材料7の融液8を貫通孔11bから漏出させ、貫通孔11b内形状よりも小さな外形状を有する形状制御棒12を挿通した状態で引下げ操作を行い、シードタッチのために、形状制御棒12を動作させて融液8をシードタッチ面に向けて送り込ませる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
底部が閉塞された閉塞部となる円筒形状を有し、前記閉塞部を前記円筒形状の内部から外部に貫通する貫通孔を有する坩堝、の内部に保持された原材料融液を前記貫通孔から漏出させ、漏出した前記原材料融液に、前記原材料融液が結晶化する際の結晶方位を定めるシードを接触させ、前記シードを所定の引下げ軸に沿って引き下げることによって前記シードを基点として成長する単結晶を得る単結晶の引下げ方法であって、 前記貫通孔の開口部が形成される前記坩堝における開口部の形成面に対して前記シードにおける前記原材料融液との接触面を接触させ、 前記貫通孔に棒状の形状制御棒の先端部を挿入した状態で、前記坩堝の内部に保持された原材料を溶融して前記原材料融液を生成し、 前記形状制御棒に所定の動作を実施させて前記原材料融液を前記貫通孔に送り込み、 前記貫通孔に送り込まれた前記原材料融液を前記シードの前記接触面に接触させ、 前記シードを前記所定の引下げ軸に沿って引下げることを特徴とする単結晶の引下げ方法。
IPC (1)：
C30B 15/08
FI (1)：
C30B15/08
F-Term (19)：
4G077AA02 ,  4G077BA07 ,  4G077BB00 ,  4G077BE02 ,  4G077CF01 ,  4G077ED01 ,  4G077EG01 ,  4G077EG25 ,  4G077EH06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA03 ,  4G077HA11 ,  4G077PA16 ,  4G077PC02 ,  4G077PD02 ,  4G077PF08 ,  4G077PF13 ,  4G077PJ04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 特開平4-280891
  • 特公昭48-012669
  • 繊維状単結晶体及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-308369   Applicant：京セラ株式会社
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Cited by examiner (5)
  • 特開平4-280891
  • 特公昭48-012669
  • 繊維状単結晶体及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-308369   Applicant：京セラ株式会社
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