マイクロエレクトロニクスの用途のための現像液に可溶なアルコキシド金属塗布膜

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：渡辺望稔 , 三和晴子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010106668
Publication number (International publication number)：2010224554
Application date： May. 06, 2010
Publication date： Oct. 07, 2010
Summary：

【課題】反射防止組成物およびこの組成物を用いて回路を形成する方法を提供する。【解決手段】溶媒中に拡散または溶解されたポリマーを含む。好適実施形態において、組成物のポリマーは、有機化合物と高分子アルコキシド金属とが反応することにより生成され、前記高分子アルコキシド金属は、下記式を有する連鎖ユニットを含む。ここで、Mは、各々、チタン、ジルコニウム、シリコン、およびアルミニウムからなる群から選択される金属、各Lは、各々、ジケトおよびアルコキシド配位子とからなる群から選択され、前記有機化合物は、前記高分子アルコキシド金属のMに配位する官能基を含む。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

フォトリソグラフィック・プロセスにおけるバリヤー膜または反射防止膜に使用するための組成物であって、該組成物は、溶媒と、前記溶媒中に拡散または溶解されたポリマーとを含み、該ポリマーは、下記式を有する連鎖ユニットを含むことを特徴とする組成物。

IPC (4)：

G03F 7/11 , G03F 7/32 , C08G 79/00 , C08G 77/20

FI (4)：

G03F7/11 503 , G03F7/32 , C08G79/00 , C08G77/20

F-Term (43)：

2H096AA25 , 2H096DA01 , 2H096GA08 , 2H096JA02 , 2H125AC21 , 2H125AE02N , 2H125AN19N , 2H125AN37N , 2H125AN38N , 2H125AN39N , 2H125AN45N , 2H125AN57N , 2H125AN80N , 2H125CA12 , 2H125CD08N , 2H125CD39 , 2H125DA22 , 2H125EA22N , 4J030CB03 , 4J030CC10 , 4J030CC15 , 4J030CC16 , 4J030CC21 , 4J030CD11 , 4J030CE02 , 4J030CG03 , 4J246AA03 , 4J246BA01X , 4J246BA010 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246CA15M , 4J246CA15X , 4J246CA150 , 4J246CB10 , 4J246FA131 , 4J246FA431 , 4J246GB04 , 4J246GC24 , 4J246GD08 , 4J246HA15 , 4J246HA66

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

反射防止膜形成用組成物および反射防止膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-186862 Applicant：ジェイエスアール株式会社
硬化性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-010971 Applicant：ジェイエスアール株式会社
特開昭54-043241

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