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J-GLOBAL ID：201003092285064935

磁気デバイス検査装置および磁気デバイス検査方法

Inventor： 立▲崎▼ 武弘 ,  渡辺 正浩 ,  笹澤 秀明 ,  ▲吉▼田 実 ,  中込 恒夫 ,  徳冨 照明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009185839
Publication number (International publication number)：2010175534
Application date： Aug. 10, 2009
Publication date： Aug. 12, 2010
Summary：

【課題】組立て前の磁気ヘッドを、非破壊、非接触で、かつ、高い分解能をもって、全数検査可能なスピードで検査をする。【解決手段】試料5である磁気ヘッドに交流電流を印加することによって試料5から交流磁界を発生させる。試料5に磁性体の探針2または磁性体を塗布した探針2を持つカンチレバー1を近づけることによって、カンチレバー1が変位する。カンチレバー1の変位を検出することによって試料5からの磁界分布を検出する。試料5に印加する交流電流の周波数を、カンチレバー1の共振周波数とは異なる周波数とすることによって高速に試料5から発生する磁界分布を測定することが出来る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料より発生する磁界を検出する磁気デバイス検査装置であって、 磁性体探針または磁性体を塗布した探針を持つカンチレバーと、 前記試料を保持する試料台と、 前記カンチレバー先端の変位を観測する変位検出手段と、 前記探針を前記試料に対して接近と退避、移動の各動作を繰り返すことが可能な手段と、 前記カンチレバー先端の変位を検出する手段を備え、 前記試料を前記カンチレバーの共振周波数と異なる周波数の交流電流で励磁し、前記試料から発生する磁界分布を測定することを特徴とする磁気デバイス検査装置。

IPC (2)：

G01Q 60/50 ,  G01Q 80/00

FI (2)：

G01N13/22 101 ,  G01N13/10 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 磁界特性評価装置及び測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-087655   Applicant：株式会社東芝