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J-GLOBAL ID：200903090590663713

磁界特性評価装置及び測定方法

Inventor：
阿部 真之

About 阿部 真之


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000087655
Publication number (International publication number)：2001272327
Application date： Mar. 27, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：
【要約】【課題】 磁界を発生する装置の表面形状を正確に測定するとともに、その表面から磁界が発生している位置も正確に特定することを目的とする。【解決手段】 切替え信号12をオフにして、非励磁状態にある磁気ヘッド1の表面をAFMによって測定して、走査位置に対応した位置信号と共にメモリにAFM信号を記憶して、その位置信号とAFM信号とをもとに表面形状を表示する。つぎに、切替え信号12をオンにして、電流印加システム2によって磁気ヘッド1を励磁状態にして、この位置信号とAFM信号とを参照して、磁気ヘッド1の表面をMFMによって測定して、走査位置に対応した位置信号と共にメモリにMFM信号を記憶して、その位置信号とMFM信号とをもとに表面の磁界分布を表示する。
Claim (excerpt)：
被測定物から磁束が発生される励磁状態及び被測定物から磁束が発生されない非励磁状態に設定することができる励磁手段と、少なくともその一部が磁性材料で作られ、被測定物表面を走査するための探針と、この探針を振動させるための振動手段と、前記振動手段と共に前記探針を移動して前記探針で前記被測定物表面を走査させる走査手段と、この走査手段に指示を与える走査信号を発生する走査信号発生手段と、前記振動され、前記被測定物の表面を走査する探針の変位を測定し、変位信号を発生する変位信号発生手段と、前記被測定物が非励磁の状態にある際に、前記変位信号及び前記走査信号から非励磁状態における被測定物の表面に関する第1の表面データを生成する第1のデータ生成手段と、前記被測定物が励磁の状態にある際に、前記第1の表面データに基づいて前記走査信号発生手段に第1の表面データに対応する走査信号を発生させて前記変位信号発生手段から変位信号を発生させ、この変位信号及び前記走査信号から励磁状態における磁束が発生される箇所を特定する第2の表面データを生成する第2のデータ生成手段と、を具備することを特徴とする磁界特性評価装置。
IPC (3)：
G01N 13/22 ,  G01N 13/16 ,  G01N 27/72
FI (3)：
G01N 13/22 A ,  G01N 13/16 A ,  G01N 27/72
F-Term (12)：
2G053AA30 ,  2G053AB01 ,  2G053BA15 ,  2G053BB04 ,  2G053BB11 ,  2G053BC02 ,  2G053BC03 ,  2G053CA18 ,  2G053CB16 ,  2G053DB01 ,  2G053DB07 ,  2G053DB19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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