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J-GLOBAL ID：201003097317191359

軟X線分光装置

Inventor： ▲徳▼島 高
Applicant, Patent owner： 独立行政法人理化学研究所
Agent (1)： 西教 圭一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009002068
Publication number (International publication number)：2010160034
Application date： Jan. 07, 2009
Publication date： Jul. 22, 2010
Summary：

【課題】 試料から軟X線分光装置に向う軟X線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟X線の強度を高めた軟X線分光装置を提供する。【解決手段】 入射する軟X線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置おいて、回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟X線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

入射する軟X線を回折する回折格子と、前記回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置であって、 前記回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、前記回折格子に垂直で前記中心光線を含む平面に平行かつ前記中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備えることを特徴とする軟X線分光装置。

IPC (2)：

G01N 23/223 ,  G01N 23/225

FI (2)：

G01N23/223 ,  G01N23/225

F-Term (20)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001EA02 ,  2G001EA07 ,  2G001EA20 ,  2G001GA07 ,  2G001KA13 ,  2G001NA01 ,  2G020AA06 ,  2G020BA20 ,  2G020CA01 ,  2G020CB45 ,  2G020CC02 ,  2G020CC63 ,  2G020CD24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• X線分光器を備えた電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-118838   Applicant：日本電子株式会社, 寺内正己