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J-GLOBAL ID：200903080379628620

X線分光器を備えた電子顕微鏡

Inventor：
寺内 正己

About 寺内 正己


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社

, 
寺内 正己

About 寺内 正己


Agent (7)： 蛭川 昌信 ,  阿部 龍吉 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007118838
Publication number (International publication number)：2007273477
Application date： Apr. 27, 2007
Publication date： Oct. 18, 2007
Summary：
【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なX線分光器を備えた電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子(12)が配置されるとともに、端部にX線検出器(14)が取り付けられた分光室を有するX線分光器(10)をゲートバルブ(4)を介して電子顕微鏡の側壁に取り付けたものであって、電子線が照射された試料から放出される特性X線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折X線をX線検出器で検出するようにしたものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子が配置されるとともに、端部にX線検出器が取り付けられた分光室を有するX線分光器をゲートバルブを介して電子顕微鏡の側壁に取り付けた電子顕微鏡であって、電子線が照射された試料から放出される特性X線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折X線をX線検出器で検出することを特徴とするX線分光器を備えた電子顕微鏡。
IPC (5)：
H01J 37/252 ,  H01J 37/244 ,  G21K 1/06 ,  G01N 23/201 ,  G01N 23/207
FI (6)：
H01J37/252 A ,  H01J37/244 ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 G ,  G01N23/201 ,  G01N23/207
F-Term (11)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001EA01 ,  2G001GA01 ,  2G001HA01 ,  2G001KA01 ,  2G001QA01 ,  5C033NN04 ,  5C033PP04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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