Art

J-GLOBAL ID：201102192076538782   Reference number：11A0394760

Arrayed ultrasonic microsensors with high directivity for in-air use using PZT thin film on silicon diaphragms

シリコンダイヤフラム上のPZT薄膜を用いた空中使用向け高指向性超音波マイクロセンサアレイ

Author (7)： YAMASHITA K ,  KATATA H ,  OKUYAMA M ,  MIYOSHI H ,  KATO G ,  AOYAGI S ,  SUZUKI Y
Material： SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
Volume： 97-8  Page： 302-307  Publication year： 2002 
JST Material Number： O6065A  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： シリコン ,  ダイヤフラム ,  PZT ,  薄膜 ,  指向性 ,  超音波 ,  センサアレイ