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J-GLOBAL ID:200901095149645160
Update date: Oct. 14, 2024
Yamashita Kaoru
ヤマシタ カオル | Yamashita Kaoru
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Research field (1):
Electronic devices and equipment
Research keywords (17):
触覚センシング
, 三次元計測
, 超音波計測
, アクチュエータ
, センサ
, マイクロマシニング
, 薄膜
, 強誘電体
, 圧電体
, three-dimensional measurement
, ultrasonic measurement
, actuator
, sensor
, micromachining
, thin films
, ferroelectrics
, piezoelectrics
Research theme for competitive and other funds (19):
- 2022 - 2025 座屈制御歪み構造体上での圧電MEMSデバイスの変換効率飛躍的向上メカニズムの解明
- 2018 - 2023 圧電MEMSエネルギ変換デバイス高性能化のための強誘電体不揮発応力メカニズム制御
- 2015 - 2019 Device control and structure design for high conversion efficiency of MEMS vibratory energy harvesters with high Q-value in a wide band
- 2016 - 2017 Fabrication and development of biosensor to detect aggregation of amyloid-beta oligomer
- 2013 - 2017 Construction of basic technologies to build up liposome integrated biosensor chip for diagnosis
- 2014 - 2016 Liposome Physical Sensors Oriented to Label-free Integrated Chip for Early Diagnosis of Diseases Originated from Amyloid-beta Abnormality
- 2011 - 2014 Resonant behavior control through ferroelectric polarization and its applications to vibratory MEMS devices with improved functionality
- 2011 - 2012 Vector tactile sensing with single MEMS sensor using resonant frequencyshift
- 2010 - 2012 Studies on development and stabilization of intact liposome biosensor technology for Si-integrated structure
- 2008 - 2010 Non-volatile resonant frequency control of vibratory MEMS structures using ferroelectric polarization
- 2004 - 2006 シリコンマイクロ構造体上圧電型センサアレイの共振周波数チューニング
- 2002 - 2003 視覚障害者用白杖のための三次元計測用超音波センサ
- 2002 - 2003 Differential spectral imaging system for biological and environmental monitoring
- 2000 - 2003 強誘電体薄膜の物性制御と次世代メモリデバイスへの応用
- 1999 - 1999 マイクロアクチュエータの遠隔駆動のための光・運動変換機構
- 1998 - 1999 微小磁気振動センサと超音波診断装置を用いた動脈硬化非線形評価システムの研究
- 1996 - 1996 圧電性半導体の光・運動変換を用いたマイクロマシンの遠隔駆動機構
- 機能性薄膜を用いたマイクロメカニカルデバイスとその応用システムに関する研究
- Study on Micro Mechanical Device Using FunctionalThin Films
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Papers (123):
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Kaoru Yamashita, Junpei Yamamoto, Zhengian Yi. Vibration Mode and Resonance Frequency Control for High-Resolution Ultrasonic Measurement Using Piezoelectric MEMS Sensors on Buckled Diaphragm Structures for High Sensitivity. Proceedings of the 11th Asia-Pacific Conference of Transducers and MIcro-Nano Technology. 2024
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Kaoru Yamashita, Junpei Yamamoto, Zhengxin Yi. Resonance Frequency and Vibration Mode Modification of Piezoelectric MEMS Ultrasonic Sensors on Buckled Diaphragm Structures for High Sensitivity and High Resolution Measurement. 2023 IEEE SENSORS. 2023
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Kaoru Yamashita, Kentaro Yamamoto, Ryoma Endo, Takuma Yoshida. Structural Strain of Piezoelectric Films on MEMS Diaphragm Structures and Its Suppression through Fabrication Process for High Conversion Efficiency. 2023 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF). 2023
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Kaoru Yamashita, Shota Fujii. Pulse Induced Vibration Modes on Piezoelectric MEMS Buckled Diaphragms for Ultrasonic Sensors. 2022 Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technology (APCOT). 2022
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Kaoru Yamashita, Tomoya Suetaka, Riho Kondo. Piezoelectric Retention and Sensitivity of Ultrasonic Sensors on Buckled MEMS Diaphragm Structures. 2022 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, Piezoresponse Force Microscopy and European Conference on Applications of Polar Dielectrics, ISAF-PFM-ECAPD 2022. 2022
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MISC (170):
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Ichiro Shibasaki, Kaoru Yamashita. Preface to the special issue on "materials for magnetic sensors and actuators and their application". IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2017. 137. 8. 218-218
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西岡知記, 西海太貴, 山下馨, 野田実. 圧電体MEMSダイアフラム型超音波センサの上部電極が振動モードに与える影響. センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM). 2016. 33rd. ROMBUNNO.26am1-B-2
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Kaoru Yamashita. Preface to the special issue on "selected papers in the technical meetings on sensors and micromachines 2013. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2014. 134. 5. 100-100
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YAMASHITA Kaoru, TANAKA Hikaru. Robots Approaching Humanity. The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan. 2014. 134. 8. 535-538
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YAMASHITA Kaoru. Preface to the Special Issue on "World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines". IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2013. 133. 3. 56-56
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Patents (23):
Lectures and oral presentations (221):
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圧電MEMSセンサにおける座屈ダイアフラム上圧電薄膜の構造的引張負荷歪みとその低減プロセスの検討
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2023)
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共振周波数可変圧電センサを用いた高分解能・低ゴースト超音波計測法の評価
(電子情報通信学会 第27回学生会研究発表講演会 2023)
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高感度化座屈ダイアフラム上MEMSセンサの圧電層負荷抑制プロセス評価
(電子情報通信学会 第27回学生会研究発表講演会 2023)
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MEMSダイアフラム型超音波センサの座屈撓みと圧電分極保持特性
(第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022)
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高感度化座屈撓みダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの座屈撓み量と強誘電的保持特性
(令和4年電気学会全国大会 2022)
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Works (6):
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ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
2006 -
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ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
2005 -
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マイクロ超音波アレイセンサを用いた三次元計測
2005 -
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自律移動ロボットのリアルタイム3次元計測用超音波マイクロアレイセンサに関する研究開発
2004 -
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三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用
2004 -
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Education (6):
Professional career (3):
- Doctor of Engineering (Osaka University)
- 修士(工学) (大阪大学)
- 博士(工学) (大阪大学)
Association Membership(s) (3):
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