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J-GLOBAL ID：201102206567696240   Reference number：11A0551656

最新の光学形状計測と産業への応用 光干渉法による三次元計測

Author (1)： KITAGAWA KATSUICHI (東レエンジニアリング 開発セ)
Material： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 50  Issue： 2  Page： 97-104  Publication year： Feb. 10, 2011 
JST Material Number： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,  *optical measurement ,  practical application ,  *optical interferometry ,  *3-D measurement ,  interference fringe ,  *phase shift ,  white ,  transparent material ,  membrane and film ,  measurement ,  surface profile
Semi thesaurus term： shape measurement ,  optical measurement ,  three dimensional measurement ,  *industrial application ,  white ,  *透明膜計測

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (32)：

• 北川克一. 光干渉法. 最新光三次元計測. 2006, 66-73
• 東レエンジニアリング(株). 表面形状測定装置 SP-700/500. http://www.toray-eng.co.jp/lcd/inspection/lineup/sp-500.html
• BRUNNING, J. H. Digital wavefront measuring interferometer for testing optical surfaces and lenses. Appl. Opt. 1974, 13, 2693-2702
• BALASUBRAMANIAN, N. Optical system for surface topography measurement. USP 4, 340, 306. 1982
• BHUSHAN, B. Measurement of surface topography of magnetic tapes by Mirau interferometry. Appl. Opt. 1985, 24, 1489-1497

Terms in the title (6)： 光学 ,  形状計測 ,  産業 ,  応用 ,  光干渉法 ,  三次元計測