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J-GLOBAL ID：201102210483098914   Reference number：11A0144893

Development of a High-Frequency Electrodeless Quartz Crystal Microbalance Chip with a Bare Quartz Resonator Encapsulated in a Silicon Microchannel and Its Application to a Biosensor

シリコン微細流路カプセル型ベア水晶内蔵無電極高周波QCMチップの開発とその応用

Author (8)： KATO Fumihito (Osaka Univ.) ,  NISHIKAWA Shintaro (Osaka Univ.) ,  YANAGIDA Taiji (Osaka Univ.) ,  OGI Hirotsugu (Osaka Univ.) ,  OGI Hirotsugu (JST-PRESTO) ,  HIRAO Masahiko (Osaka Univ.) ,  KOYAMA Mitsuaki (Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd.) ,  WATANABE Shigenori (Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd.)
Material： 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集  (超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム論文集)
Volume： 31st  Page： 71-72  Publication year： Dec. 06, 2010 
JST Material Number： L1419A  ISSN： 1348-8236  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fluidics ,...
Semi thesaurus term： QCM sensor ,...

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JST classification (3)： Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Bioassay  (EA03060N) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： シリコン ,  微細流路 ,  カプセル ,  水晶 ,  無電極 ,  QCM ,  開発 ,  応用