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J-GLOBAL ID：201102213270467141   Reference number：11A1252269

立方晶窒化ホウ素膜の新しい残留応力緩和手法

Author (4)： OHORI TETSUTARO (長岡技科大) ,  OHORI TETSUTARO (ユニオンツール) ,  SUZUKI TSUNEO (長岡技科大) ,  SUEMATSU HISAYUKI (長岡技科大)
Material： New Diamond  (ニューダイヤモンド)
Volume： 27  Issue： 3  Page： 46-47  Publication year： Jul. 25, 2011 
JST Material Number： X0341A  ISSN： 1340-4792  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： fine ceramics ,...
Semi thesaurus term： *CBN

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (3)： 立方晶窒化ホウ素 ,  残留応力 ,  緩和手法