Thermal plasmas for nanofabrication

SHIGETA Masaya; MURPHY Anthony B

Art

J-GLOBAL ID：201102215931301280 Reference number：11A0956011

Thermal plasmas for nanofabrication

ナノ製造用の熱プラズマ

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Volume： 44 Issue： 17 Page： 174025.1-174025.16 Publication year： May. 04, 2011
JST Material Number： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE Document type： Article
Article type：解説 Country of issue： United Kingdom (GBR) Language： ENGLISH (EN)

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Applications of plasma

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