Art

J-GLOBAL ID：201102215931301280   Reference number：11A0956011

Thermal plasmas for nanofabrication

ナノ製造用の熱プラズマ

Author (2)： SHIGETA Masaya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MURPHY Anthony B (CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS)
Material： Journal of Physics. D. Applied Physics  (J Phys D)
Volume： 44  Issue： 17  Page： 174025.1-174025.16  Publication year： May. 04, 2011 
JST Material Number： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： manufacturing ,  nanotechnology ,  *thermal plasma ,  *nano particle ,  nanostructure ,  modeling ,  *thin film growth ,  plasma application ,  electron microscopy ,  plasma phase synthesis ,  *plasma
Semi thesaurus term： ナノ製造

JST classification (1)： Applications of plasma  (BJ02110K)

Terms in the title (1)： 熱プラズマ