Art

J-GLOBAL ID：201102218129594620   Reference number：11A0945518

Comparison of Pressure Dependence between the Frequency Change and the Impedance Change of a Quartz Crystal Oscillator Vibrating in the Viscous-Flowing Gas

気体中の水晶振動子のインピーダンスと周波数の圧力依存性の比較

Author (3)： KUROKAWA AKIRA (独立行政法人産業技術総合研究所) ,  HOJO HISAO (バキュームプロダクツ株式会社) ,  KOBAYASHI TAKICHI (ブイピイアイ株式会社)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 54  Issue： 3  Page： 196-198 (J-STAGE)  Publication year： 2011 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *crystal resonator ,  *gas ,  *impedance ,  *resonance frequency ,  *pressure effect ,  coefficient of viscosity ,  coefficient ,  transport coefficient ,  degree
Semi thesaurus term： pressure dependence ,  coefficient of viscosity

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of R,L,C,Q, and dielectric constant  (AD07030N)

Reference (7)：

• 1) A. Kurokawa, S. Tsukahara, T. Kobayashi, H. Hojo and S. Ichimura: Shinku, 47 (2004) 151.
• 2) A. Kurokawa, K. Odaka and S. Ichimura: Vacuum, 73 (2004) 301.
• 3) K. Kokubun, M. Hirata, M. Ono, H. Murakami and Y. Toda: J. Vac. Sci. Technol. A, 5 (1987) 2450.
• 4) K. Kokubun, M. Hirata, M. Ono, H. Murakami and Y. Toda: J. Vac. Sci. Technol. A, 3 (1985) 2184.
• 5) J. Kehrbusch, E. A Ilin, P. Bozek, B. Radzio and E. Oesterschulze: Sci. Technol. Adv. Mater., 10 (2009) 034601.

Terms in the title (4)： 気体 ,  水晶振動子 ,  インピーダンス ,  圧力依存性