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J-GLOBAL ID：200902251146787490   Reference number：04A0383950

Ozone Concentration Measurement of O₂-O₃ Binary Gas with Two Types of Pressure Gauges

2種類の圧力計による大気圧O₂/O₃混合ガスのO₃濃度計測

Author (5)： KUROKAWA AKIRA (産業技術総合研) ,  TSUKAHARA SONOKO (産業技術総合研) ,  KOBAYASHI TAKICHI (ブイピイアイ) ,  HOJO HISAO (バキュームプロダクツ) ,  ICHIMURA SHINGO (産業技術総合研)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 47  Issue： 3  Page： 151-154  Publication year： Mar. 20, 2004 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *two-component system ,...
Semi thesaurus term： 摩擦真空計

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JST classification (2)： Vacuum production and techniques  (BA02020L) ,  Measuring methods and instruments of viscosity,viscoelasticity  (AD05070R)

Reference (8)：

• 黒河明. 第41回真空に関する連合講演会講演予稿集, 千里ライフサイエンスセンター, 2000. 2000, 95
• KOSUGI, R. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 884
• NISHIGUCHI, T. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 2190
• KOIKE, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1997, 36, 7437
• KOIKE, K. Rev. Sci. Instrum. 2000, 71, 4182

Terms in the title (7)： 圧力計 ,  大気圧 ,  O2 ,  O3 ,  混合ガス ,  O3濃度 ,  計測