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J-GLOBAL ID：201102223510561464   Reference number：11A0825831

The Effect of Substrate Temperature, Nitrogen Ionbeam Acceleration Voltage, and Deposition Rate on Hardness of Carbon Nitride Coating

CNx膜の硬さに及ぼす成膜時基板温度・窒素イオンビーム加速電圧・成膜速度の影響

Author (4)： TOKOROYAMA TAKAYUKI (名古屋大 大学院工学研究科) ,  SAITO RYOSUKE (名古屋大 大学院工学研究科) ,  UMEHARA NORITSUGU (名古屋大 大学院工学研究科) ,  FUWA YOSHIO (トヨタ自動車)
Material： 日本機械学会論文集 C編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C (Web))
Volume： 77  Issue： 775  Page： 624-630 (WEB ONLY)  Publication year： 2011 
JST Material Number： U0184A  ISSN： 1884-8354  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *carbon compound ,  *nitride ,  friction coefficient ,  nitrogen beam ,  electron beam deposition ,  ion irradiation ,  Raman spectrometry ,  nanoindentation ,  *carbon nitride ,  *film deposition
Semi thesaurus term： ion beam irradiation ,  *film formation

JST classification (1)： Applications of electron beams and ion beams  (BD02070X)

Reference (7)：

• (1) Umehara, N., Kato, K., and Sato, T., Tribological Properties of Carbon Nitride Coating by Ion Beam Assisted Deposition, Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, (1998), p. 151.
• (2) Umehara, N., Tatsuno, M., and Kato, K., Nitrogen Lubrifated Sliding between CNx Coatings and Ceramic Balls, Proceedings of the International Tribology Conference Nagasaki, (2000), pp. 1007-1012.
• (3) Adachi, K., Wakabayashi, T., and Kato, K., The Effect of Sliding History on the Steady State Friction Coefficient between CNx coatings under N₂-Gas Lubrication, Proceedings of the 31^th Leeds-Lyon Symposium on Tribology, (2004).
• (4) 王懐鵬,野老山貴行,梅原徳次,不破良雄,CNx膜の摩擦摩耗特性に及ぼすカーボンオーバーコートの影響,日本機械学会誌(C編),75巻,754号 (2009), pp. 1859-1865.
• (5) 野老山貴行,梅原徳次,神谷真人,不破良雄,窒化炭素膜のトライボロジー特性におよぼす紫外線照射の影響,トライボロジスト,55巻,9号 (2010), pp. 659-665.

Terms in the title (7)： 硬さ ,  成膜 ,  基板温度 ,  窒素イオン ,  ビーム ,  加速電圧 ,  成膜速度