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J-GLOBAL ID：201102223576021479   Reference number：11A0551098

c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子

Author (2)： SUZUKI MASASHI (名古屋工大 大学院) ,  YANAGITANI TAKAHIKO (名古屋工大 大学院)
Material： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
Volume： 2011  Page： 105-108  Publication year： Jan. 31, 2011 
JST Material Number： L5218A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *aluminum nitride ,  *dielectric thin film ,  *crystal orientation ,  reversal ,  *surface acoustic wave device ,  *eigenmode ,  shear (mechanics) ,  *acoustic resonator ,  ion beam machining ,  RF sputtering ,  *magnetron sputtering ,  control ,  resonance frequency ,  polarity inversion ,  alignment control
Semi thesaurus term： thickness shear mode

JST classification (2)： Resonator  (NC04050Y) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： C軸 ,  配向 ,  AlN ,  薄膜 ,  極性反転 ,  すべり ,  共振子