Art

J-GLOBAL ID：201102247679577021   Reference number：11A0366462

A simple preparation of superconducting MgB2 thin films by composite-target sputtering system

複合標的スパッタリングシステムによる超伝導MgB2薄膜の簡単な製作

Author (4)： AKINAGA M ,  UMEDA S ,  HASEGAWA H ,  SHIRASAWA T
Material： PHYSICA C-SUPERCONDUCTIVITY AND ITS APPLICATIONS
Volume： 388  Page： 119-120  Publication year： 2003 
JST Material Number： O5338A  ISSN： 0921-4534  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： 標的 ,  スパッタリング ,  伝導 ,  MgB2 ,  薄膜 ,  製作