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J-GLOBAL ID：201102249344517892   Reference number：11A0791586

Suitability of low-work-function titanium nitride coated transfer mold field-emitter arrays for harsh environment applications

劣悪環境用途での低仕事関数窒化チタン被覆トランスファーモールド電界放出アレーの安定性

Author (2)： NAKAMOTO Masayuki (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN) ,  MOON Jonghyun (Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology & Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, & Phenomena)
Volume： 29  Issue： 2  Page： 02B112  Publication year： Mar. 2011 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *work function ,  titanium compound ,  nitride ,  *covering ,  transfer molding ,  *field emission ,  *sequence and arrangement ,  *atmospheric plasma ,  radical ,  *stability
Semi thesaurus term： titanium nitride ,  transfer molding

JST classification (1)： Thermoionic emission and field emission  (BM09020S)

Terms in the title (8)： 環境 ,  用途 ,  仕事関数 ,  窒化チタン ,  トランスファーモールド ,  電界放出 ,  アレー ,  安定性