Art

J-GLOBAL ID：201102258328531035   Reference number：11A0467186

Fabrication of micro-lens arrays with moth-eye antireflective nanostructures using thermal imprinting process

熱インプリンティングプロセスを用いた蛾眼反射防止ナノ構造を有するマイクロレンズアレイの製作

Author (3)： OH S.S. (Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR) ,  CHOI C.-G. (Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR) ,  KIM Y.-S. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
Material： Microelectronic Engineering  (Microelectron Eng)
Volume： 87  Issue： 11  Page： 2328-2331  Publication year： 2010 
JST Material Number： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (8)： インプリンティング ,  プロセス ,  蛾 ,  眼 ,  反射防止 ,  ナノ構造 ,  マイクロレンズアレイ ,  製作